三亿体育 全站 三亿体育app三亿体育 全站 三亿体育app金融界2024年9月26日消息，国家知识产权局信息显示，上海固玺科技有限责任公司取得一项名为“一种用于MPCVD设备的扶正模块和具有扶正模块的MPCVD设备”的专利，授权公告号 CN 221759977 U ，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于MPCVD设备的扶正模块和具有扶正模块的MPCVD设备，包括对称设置的支撑部，所述支撑部包括一体成型的弧形边和径向延伸边，所述径向延伸边的中部体成型有安装块所述安装块上设有弧形对接槽所述弧形对接槽与基片台的铜台冷却管贴合，两个支撑部之间设有锁紧件，所述锁紧件将两个安装块固定在基片台的铜台冷却管的两侧，所述弧形边与真空下反应腔体的内侧壁垂直滑动配合；本实用新型提供的一种用于MPCVD设备的扶正模块和具有扶正模块的MPCVD设备，解决了现有的基片台上下调节的过程中容易摩擦到真空下反应腔体，导致真空下反应腔体损伤的问题。